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软X射线多层膜膜厚分布均匀性控制研究
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中文图书(1)
主题
(1)
出版社
长春光机与物理研究所(1)
出版时间
2002.2(1)
软X射线多层膜膜厚分布均匀性控制研究
—
林炳著
索书号：
53.75/4491
标准编码：
20020418d2002 ke.
出版信息：
长春 长春光机与物理研究所 2002.2
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