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书目详细信息： 软X射线多层膜膜厚分布均匀性控制研究

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《软X射线多层膜膜厚分布均匀性控制研究》

ISBN/价格：	50.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN 220100
题名责任者项：	软X射线多层膜膜厚分布均匀性控制研究/.林炳著
出版发行项：	长春:,长春光机与物理研究所:,2002.2
载体形态项：	71页:;+16开
个人名称等同：	林炳著
记录来源：	CN 20020418

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