图书馆

登录

书目详细信息： 激光调阻机光刻平台系统控制研究与设计

书目信息  机读格式(MARC)

《激光调阻机光刻平台系统控制研究与设计》

ISBN/价格：	50.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN 220100
题名责任者项：	激光调阻机光刻平台系统控制研究与设计/.刘立峰著
出版发行项：	长春:,长春光机与物理研究所:,2003.6
载体形态项：	71页:;+图:;+29cm
个人名称等同：	刘立峰著
记录来源：	CN 20030905

总体评分：（共0人）

我的评分：

收藏加入课程

相关资源

馆藏信息  附件信息  评论信息  相关借阅  借阅趋势  参考书目

借阅关系图

相关资源

二维码

《激光调阻机光刻平台系统控制研究与设计》二维码