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书目详细信息： 第一届全国电子束离子束光子束学术年会论文集

ISBN/价格：	7-:￥4.50
题名责任者项：	第一届全国电子束离子束光子束学术年会论文集/.半导体工艺设备编辑组编
出版发行项：	长沙:,第四机械工业部长沙半导体设备研究所:,1981.10
载体形态项：	386页:;+16开
个人名称等同：	半导体工艺设备编辑组编
记录来源：	/ /

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