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书目详细信息： Smart sensors, actuators,and MEMS II V.5836

ISBN/价格：	0-8194-5831-7:RMB740
作品语种：	eng
题名责任者项：	Smart sensors, actuators,and MEMS II V.5836/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005.5
载体形态项：	730p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20060111

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