书目详细信息
： Optical microlithography technology for the mid-1980s V.334
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-369-7:￥117.60 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical microlithography technology for the mid-1980s V.334/.by SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,1982.3 |
| 载体形态项： | 265页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | OPTICAL LITHAGRAPHY |
| 题名主题： | PHOTORECISTS |
| 题名主题： | PROCESS CONTROL |
| 题名主题： | ELECTRONIC BEAM PHOTOETCHING |
| 记录来源： | CN 20061115 |