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书目详细信息： Advances in resist technology and processing XXII V.5753(part 2-1)

ISBN/价格：	0-8194-5733-7:RMB1220
作品语种：	eng
题名责任者项：	Advances in resist technology and processing XXII V.5753(part 2-1)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005.2
载体形态项：	610p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20050728

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