书目详细信息
： 12th Annual symposium on photomask technology and management V.1809
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-1009-8:￥525.12 |
|---|---|
| 题名责任者项： | 12th Annual symposium on photomask technology and management V.1809/.SPIE |
| 出版发行项： | Sunnyvale:,SPIE:,1992.9 |
| 载体形态项： | 286页 |
| 一般附注： | Annual symposium on photomask technology and management |
| 个人名称等同： | SPIE |