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书目详细信息： Emerging lithographic technologies VIII V.5374(part2-2)

ISBN/价格：	0-8194-5287-4:RMB0.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	Emerging lithographic technologies VIII V.5374(part2-2)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2004.2
载体形态项：	529-1110p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20050110

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