书目详细信息
： Instrumentation,metrology,and standards for nanomanufacturing,optics,and semiconductors V
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-0-8194-8715-5:RMB290 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Instrumentation,metrology,and standards for nanomanufacturing,optics,and semiconductors V Vol.8105/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2011.8 |
| 载体形态项： | multi-stage:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20120816 |