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书目详细信息： Emerging lithographic technologies V.3048

ISBN/价格：	0-8194-2462-5:￥130.00
题名责任者项：	Emerging lithographic technologies V.3048/.SPIE
出版发行项：	Santa Clara:,SPIE:,1997.3
载体形态项：	412页
一般附注：	SPIE‘s symposium on microlithography
个人名称等同：	SPIE

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