书目详细信息
： Metrology inspection, and process control for microlithography XI V.3050
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2464-1:￥195.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Metrology inspection, and process control for microlithography XI V.3050/.SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,1997.3 |
| 载体形态项： | 636页 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 个人名称等同： | SPIE |