书目详细信息
： MEMS reliability for critical applications V.4180
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3836-7:RMB605.00 |
|---|---|
| 作品语种： | en |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | MEMS reliability for critical applications V.4180/. SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2000.9 |
| 载体形态项： | 146页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE. V.4180 |
| 记录来源： | CN 20010320 |