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书目详细信息： Optical microlithography XI V.3334 part 2-2

ISBN/价格：	0-8194-2779-9:200.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN
题名责任者项：	Optical microlithography XI V.3334 part 2-2/.SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,1998
载体形态项：	520-1090页:;+16开
记录来源：	CN 20010719

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