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书目详细信息： X-ray lithography and applications of soft X-rays to technology V.448

ISBN/价格：	0-89252-483-9:RMB1325.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	X-ray lithography and applications of soft X-rays to technology V.448/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,1983
载体形态项：	140p:;+28cm
记录来源：	CN 20031208

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