书目详细信息
： Advances in resist technology and processing VI V.1086
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0121-8:￥477.82 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Advances in resist technology and processing VI V.1086/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1989.2 |
| 载体形态项： | 620页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s sympsoium on microlithography |
| 记录来源： | CN 20061204 |