书目详细信息
： Device and process technologies for MEMS and microelectronics II V.4592
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4322-0:1433.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Device and process technologies for MEMS and microelectronics II V.4592/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2001.12 |
| 载体形态项： | 538页:;+16开 |
| 一般附注： | Proceedings of SPIE v.4592 |
| 记录来源： | CN 20010606 |