书目详细信息
： Manufacturing process control for microelectronic devices and circuits V.2336
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-1669-X:￥945.75 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Manufacturing process control for microelectronic devices and circuits V.2336/.SPIE |
| 出版发行项： | Austin, Texas:,SPIE:,1994.10 |
| 载体形态项： | 250页 |
| 一般附注： | SPIE‘s international microelectronic manufacturing ‘94 symposium |
| 个人名称等同： | SPIE |