书目详细信息
： Semiconductor microlithography VI V.275
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-308-5:￥121.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Semiconductor microlithography VI V.275/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1981.3 |
| 载体形态项： | 221页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | PHOTORESISTS |
| 题名主题： | SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 题名主题： | OPTICAL TEST |
| 题名主题： | OPTICAL LITHOGRAPHY |
| 记录来源： | CN 20061115 |