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书目详细信息： 一种光刻头聚焦伺服系统的设计与探讨

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《一种光刻头聚焦伺服系统的设计与探讨》

ISBN/价格：	￥12.00
题名责任者项：	一种光刻头聚焦伺服系统的设计与探讨/.刘慧峰
版本项：	1
出版发行项：	长春:,长春光机所:,1998.2
载体形态项：	40页:;+16开
个人名称等同：	刘慧峰
记录来源：	11/15/99

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