书目详细信息
： Handbook of Critical Dimension Metrology and Process Control. V.CR52
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-1363-1:545.81元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | Handbook of Critical Dimension Metrology and Process Control. V.CR52/. SPIE |
| 出版发行项： | Monterey:,SPIE:,1993.9 |
| 载体形态项： | 358页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.CR52 |
| 记录来源： | CN 2001103 |