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书目详细信息： Micro-opto-electro-mechanical systems PM.126

ISBN/价格：	0-8194-5021-9:RMB1367
作品语种：	eng
题名责任者项：	Micro-opto-electro-mechanical systems PM.126/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2004.2
载体形态项：	614p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20050803

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