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书目详细信息： MOEMS and Miniaturized Systems XIII Vol.8977

ISBN/价格：	978-0-8194-9890-8:RMB130
作品语种：	eng
题名责任者项：	MOEMS and Miniaturized Systems XIII Vol.8977/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2014.2
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20130603

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