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书目详细信息： Optical Micrlithography XV V.4691(part 2-2)

ISBN/价格：	0-8194-4437-5:RMB0.00
题名责任者项：	Optical Micrlithography XV V.4691(part 2-2)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2002.3
载体形态项：	765-1778p:;+28cm
丛编项：	Proceedings of SPIE V.4691(part 2-2)
记录来源：	CN 20030425

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