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书目详细信息： Advanced microlithography technologies V.5645

ISBN/价格：	0-8194-5600-4:RMB380
作品语种：	eng
题名责任者项：	Advanced microlithography technologies V.5645/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2004.11
载体形态项：	380p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20050728

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