书目详细信息
： 24th annual BACUS symposium on photomask technology V.5567(part two of two parts)
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-5513-X:RMB |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | 24th annual BACUS symposium on photomask technology V.5567(part two of two parts)/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2004.10 |
| 载体形态项： | 741-1450p:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20050426 |