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书目详细信息： 半导体干法腐蚀工艺 (译文专辑)

ISBN/价格：	7-:￥1.50
题名责任者项：	半导体干法腐蚀工艺 (译文专辑)/.上海市半导体器件专业情报网编
版本项：	1
出版发行项：	上海:,上海市仪表电讯工业局科技情报研究所:,1980.11
载体形态项：	71页:;+16开
个人名称等同：	上海市半导体器件专业情报网编
记录来源：	/ /

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