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书目详细信息： Microsystems Metrology and Inspection. V.3825

ISBN/价格：	0-8194-3311-X:734.73元
题名责任者项：	Microsystems Metrology and Inspection. V.3825/. SPIE
出版发行项：	Munich:,SPIE:,1999.6
载体形态项：	186页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE V.3825

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