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书目详细信息： Microelectronics manufacturing and reliability V.1802

ISBN/价格：	0-8194-1000-4:￥433.72
题名责任者项：	Microelectronics manufacturing and reliability V.1802/.SPIE
出版发行项：	San Jose:,SPIE:,1992.9
载体形态项：	258页
一般附注：	Microelectronic processing ‘92
个人名称等同：	SPIE

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