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书目详细信息： MOEMS and miniaturized systems III V.4983

ISBN/价格：	0-8194-4783-8:RMB1041.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	MOEMS and miniaturized systems III V.4983/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2003
载体形态项：	368p:;+28cm
记录来源：	CN 20031204

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