书目详细信息
： Integrated circuit metrology, inspection, and process control III V.1087
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0122-6:￥335.36 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Integrated circuit metrology, inspection, and process control III V.1087/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1989.2 |
| 载体形态项： | 535页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | INTEGRATED CIRCUIT |
| 题名主题： | OPTICAL METROLOGY |
| 题名主题： | AUTOMATIC CHECK |
| 题名主题： | PROCESS CONTROL |
| 记录来源： | CN 20061204 |