书目详细信息
： Micromachining technology for micro-optics and nano-optics V and microbrication process technology .
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-6575-7:RMB370 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Micromachining technology for micro-optics and nano-optics V and microbrication process technology XII V.6462/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2007.1 |
| 载体形态项： | multi-stage:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20080109 |