书目详细信息
： Micromachined devices and compnents IV V.3514
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2973-2:￥169.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Micromachined devices and compnents IV V.3514/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1998.9 |
| 载体形态项： | 440页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3514 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3514 |
| 一般附注： | 微加工设备与元件 (IV) |
| 个人名称等同： | SPIE |