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书目详细信息： Reliability,testing,and characterization of MEMS/MOEMS II V.4980

ISBN/价格：	0-8194-4780-3:RMB1181.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	Reliability,testing,and characterization of MEMS/MOEMS II V.4980/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2003
载体形态项：	334p:;+28cm
记录来源：	CN 20031204

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