书目详细信息
： 16th Annual symposium on photomask technology and management V.2884
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2282-7:￥180.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | 16th Annual symposium on photomask technology and management V.2884/.SPIE |
| 出版发行项： | Redwood city:,SPIE:,1996.9 |
| 载体形态项： | 586页 |
| 一般附注： | Annual symposium on photomask technology and management |
| 个人名称等同： | SPIE |