书目详细信息
： Process and equipment control in microelectronic manufacturing V.3742
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3222-9:￥85.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Process and equipment control in microelectronic manufacturing V.3742/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1999.5 |
| 载体形态项： | 206页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3742 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3742 |
| 个人名称等同： | SPIE |