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书目详细信息： 25th annual BACUS symposium on photomask technology V.5992(part 2-2)

ISBN/价格：	0-8194-6014-1:RMB
作品语种：	eng
题名责任者项：	25th annual BACUS symposium on photomask technology V.5992(part 2-2)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005.9
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20060313

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