书目详细信息
： 薄膜材料制备原理、技术及应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-5024-3097-0:CNY28.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 薄膜材料制备原理、技术及应用/.唐伟忠著 |
| 版本项： | 2版 |
| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2003 |
| 载体形态项： | 323页:;+图:;+20cm |
| 提要文摘： | 本书以薄膜材料为中心，介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论，等。 |
| 题名主题： | 薄膜制品 制备 |
| 个人名称等同： | 唐伟忠 (薄膜材料) 著 |
| 记录来源： | CN 20160120 |