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书目详细信息： Design and process integration for microelectronic manufacturing II V.5042

ISBN/价格：	0-8194-4847-8:RMB760.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	Design and process integration for microelectronic manufacturing II V.5042/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2003
载体形态项：	418p:;+28cm
记录来源：	CN 20031205

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