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书目详细信息： Micromachining and microfabrication process technology XV Vol.7590

ISBN/价格：	978-0-8194-7986-0:RMB340
作品语种：	eng
题名责任者项：	Micromachining and microfabrication process technology XV Vol.7590/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2010.1
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20101119

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