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书目详细信息： Submicron lithography V.333

ISBN/价格：	0-89252-368-9:65.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN
题名责任者项：	Submicron lithography V.333/.SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,1982
载体形态项：	179页:;+16开
记录来源：	CN 20010714

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