书目详细信息
： Dry processing for submicrometer lithography V.1185
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0221-4:￥314.18 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Dry processing for submicrometer lithography V.1185/.by SPIE |
| 出版发行项： | Santa clara:,SPIE:,1989.10 |
| 载体形态项： | 307页:;+16开 |
| 一般附注： | Symposium on microelectronic integrated processing: growth, monitoring, and control |
| 记录来源： | CN 20061204 |