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书目详细信息： Micromachined devices and components III V.3224

ISBN/价格：	0-8194-2656-3:130.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN
题名责任者项：	Micromachined devices and components III V.3224/.SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,1997
载体形态项：	382页:;+16开
记录来源：	CN 20010718

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