书目详细信息
： Process and equipment control in microelectronic manufacturing II V.4405
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4106-6:717.54元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Process and equipment control in microelectronic manufacturing II V.4405/.By SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2001.5 |
| 载体形态项： | 158页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4405 |
| 记录来源： | CN 20011209 |