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书目详细信息： Optical lithography PM.190

ISBN/价格：	978-0-8194-7560-2:RMB680
作品语种：	eng
题名责任者项：	Optical lithography PM.190/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2009.3
载体形态项：	477p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20120706

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