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书目详细信息： Microlithography 1999:Advances in Resist Technology and Processing XVI. V.3678

ISBN/价格：	0-8194-3152-4:1787.10元
题名责任者项：	Microlithography 1999:Advances in Resist Technology and Processing XVI. V.3678/.SPIE
出版发行项：	Santa Clara:,SPIE:,1999.3
载体形态项：	1402页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE V.3678

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