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书目详细信息： Microlithography and metrology in micromachining V.2640

ISBN/价格：	0-8194-2006-9:￥119.00
题名责任者项：	Microlithography and metrology in micromachining V.2640/.SPIE
出版发行项：	Austin:,SPIE:,1995.10
载体形态项：	246页
一般附注：	Microelectronic manufacturing
个人名称等同：	SPIE

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