书目详细信息
： 15th European conference on mask technology for integrated circuits and microcomponents ‘98 V.3665
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3139-7:￥78.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | 15th European conference on mask technology for integrated circuits and microcomponents ‘98 V.3665/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1998.11 |
| 载体形态项： | 180页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3665 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3665 |
| 个人名称等同： | SPIE |