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书目详细信息： Smart sensors,actuators,and MEMS V Vol.8066

ISBN/价格：	978-0-8194-8655-4:RMB1140
作品语种：	eng
题名责任者项：	Smart sensors,actuators,and MEMS V Vol.8066/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2011.4
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20111122

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