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书目详细信息： MEMS,MOEMS,and micromachining V.5455

ISBN/价格：	0-8194-5378-1:RMB998.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	MEMS,MOEMS,and micromachining V.5455/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2004.4
载体形态项：	438p:;+ill.:;+28cm
记录来源：	CN 20050114

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